上海2021年11月22日 /美通社/ -- 11月19日，集成電(dian)路(lu)(lu)材(cai)料(liao)產業(ye)技(ji)術(shu)(shu)創(chuang)新(xin)聯(lian)盟與(yu)科百(bai)特聯(lian)合(he)舉(ju)辦的(de)2021集成電(dian)路(lu)(lu)超凈工藝(yi)技(ji)術(shu)(shu)Workshop在杭州蕭山區順利舉(ju)行。會議采用了線上線下(xia)同時進(jin)行的(de)形式，來自(zi)集成電(dian)路(lu)(lu)制(zhi)造、硅材(cai)料(liao)、工藝(yi)化學(xue)品(pin)、光刻膠(jiao)、CMP材(cai)料(liao)等產業(ye)鏈(lian)上下(xia)游企業(ye)的(de)高(gao)層、技(ji)術(shu)(shu)人(ren)員及研究院所(suo)的(de)學(xue)者共(gong)計約80余人(ren)參(can)加了此(ci)次會議，共(gong)同探(tan)討新(xin)技(ji)術(shu)(shu)要求(qiu)下(xia)的(de)潔凈控制(zhi)。

在Workshop期間，安(an)集(ji)(ji)微電(dian)子(zi)科技（上(shang)海）股份有(you)限公司（簡稱“安(an)集(ji)(ji)科技”）產品應(ying)(ying)用副總監王(wang)(wang)勝利應(ying)(ying)邀發(fa)(fa)表題(ti)為《先進(jin)制程刻(ke)蝕后(hou)清洗技術(shu)》演講報告。在演講中(zhong)(zhong)，王(wang)(wang)勝利主要(yao)分享了(le)邏(luo)輯器(qi)件先進(jin)技術(shu)節點的(de)(de)(de)后(hou)段干法(fa)刻(ke)蝕殘留物的(de)(de)(de)清洗工(gong)藝(yi)技術(shu)、特別分享了(le)有(you)氮化鈦硬掩膜的(de)(de)(de)濕(shi)法(fa)去除要(yao)求的(de)(de)(de)清洗技術(shu)指標和實際(ji)數據。在下一世(shi)代(dai)的(de)(de)(de)半導體(ti)工(gong)藝(yi)技術(shu)的(de)(de)(de)展(zhan)望中(zhong)(zhong)，王(wang)(wang)勝利探討了(le)半導體(ti)工(gong)藝(yi)中(zhong)(zhong)新(xin)(xin)材料(liao)(liao)和新(xin)(xin)架構對功能(neng)性型化學品提出的(de)(de)(de)挑戰與機遇(yu)。在邏(luo)輯器(qi)件5nm以后(hou)世(shi)代(dai)中(zhong)(zhong)GAA 結構的(de)(de)(de)出現，Ru及Air Gap的(de)(de)(de)引入(ru)；在3D NAND器(qi)件中(zhong)(zhong)，更高層數的(de)(de)(de)堆疊帶(dai)(dai)來(lai)的(de)(de)(de)極(ji)高深寬比和Molly的(de)(de)(de)引入(ru)， 以及在D1Z世(shi)代(dai)的(de)(de)(de)DRAM中(zhong)(zhong)，Low K材料(liao)(liao)以及新(xin)(xin)的(de)(de)(de)電(dian)容材料(liao)(liao)的(de)(de)(de)引入(ru)，帶(dai)(dai)來(lai)了(le)很(hen)多新(xin)(xin)的(de)(de)(de)并且很(hen)有(you)挑戰性的(de)(de)(de)功能(neng)性化學品機會，并展(zhan)示了(le)安(an)集(ji)(ji)科技對于(yu)這些新(xin)(xin)的(de)(de)(de)應(ying)(ying)用的(de)(de)(de)理解和研發(fa)(fa)布(bu)局(ju)。

王勝利表示過去的(de)(de)十多(duo)年以(yi)來安集科(ke)技(ji)(ji)的(de)(de)功能性濕(shi)電子(zi)(zi)化(hua)學品已經在大(da)批(pi)量(liang)穩定供應國內(nei)外的(de)(de)不同客(ke)戶，其應用范圍集中于中后(hou)道工(gong)藝，包括鋁、銅的(de)(de)后(hou)道互(hu)聯及(ji)(ji)晶圓級封裝(zhuang)領域。安集科(ke)技(ji)(ji)始終專注于CMP拋光液及(ji)(ji)功能性濕(shi)電子(zi)(zi)化(hua)學品的(de)(de)研(yan)發(fa)及(ji)(ji)產業化(hua)，經過17年來的(de)(de)積累沉淀，具備(bei)成熟而強大(da)的(de)(de)研(yan)發(fa)、生產、技(ji)(ji)術支持及(ji)(ji)質量(liang)管控(kong)能力(li)。

作(zuo)為(wei)功能(neng)(neng)性(xing)(xing)濕電(dian)子(zi)化(hua)學品(pin)的行業領軍(jun)企業之一，安集(ji)科技一直聚焦(jiao)于國(guo)內(nei)成(cheng)(cheng)熟(shu)(shu)工藝和國(guo)際半導體最(zui)前沿的工藝技術兩方面，研發對應的功能(neng)(neng)性(xing)(xing)化(hua)學品(pin)技術，滿足國(guo)內(nei)外半導體企業對于成(cheng)(cheng)熟(shu)(shu)工藝量產(chan)的和先進(jin)工藝發展的不同需(xu)求，致(zhi)力于尋(xun)求與客戶和合(he)作(zuo)伙伴的更好合(he)作(zuo)，為(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路產(chan)業提供(gong)強有(you)力的供(gong)應保障。