馬薩諸塞州(zhou)比佛(fo)利2022年3月31日(ri) /美通社/ -- 半導(dao)體行業離(li)子注(zhu)入(ru)支持解決方案的領(ling)先供應商Axcelis Technologies, Inc.（納斯達克股票代(dai)碼(ma)：ACLS）今(jin)天宣布，公司(si)向日(ri)本(ben)領(ling)先的功率設(she)備芯片制(zhi)造(zao)商發(fa)運其Purion XE?高能和(he)(he)Purion M?中等電流Power Series?注(zhu)入(ru)機。這些系(xi)統將用于大批(pi)量生產基于300mm薄硅晶圓的MOSFET和(he)(he)IGBT設(she)備，以用于汽(qi)車和(he)(he)其他功率管理(li)應用。

產品開發(fa)執(zhi)行副(fu)總裁Bill Bintz表(biao)示(shi)：“Purion Power系列的獨特(te)功(gong)能(neng)(neng)，結合功(gong)率設(she)備領域(yu)的密集(ji)注入特(te)性，將賦予Axcelis獨特(te)的條件(jian)來從這(zhe)一市場的增長(chang)中受益。這(zhe)些工具集(ji)成了(le)多項功(gong)能(neng)(neng)和工藝(yi)控(kong)制(zhi)(zhi)能(neng)(neng)力，包括該(gai)平臺(tai)為功(gong)率設(she)備市場提供(gong)支(zhi)持的薄晶圓處理能(neng)(neng)力。我們(men)期待(dai)擴(kuo)大Purion平臺(tai)在(zai)日本的業務(wu)范圍，并支(zhi)持我們(men)客戶實(shi)現提高(gao)制(zhi)(zhi)造能(neng)(neng)力的目標(biao)。”

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Axcelis（納斯達克(ke)股票(piao)代碼：ACLS）的(de)總(zong)部位于馬薩諸(zhu)塞州比弗(fu)利。40多年來(lai)，公(gong)司(si)一直為半導體行(xing)業提供(gong)創(chuang)新的(de)高生產率解(jie)決(jue)方案。Axcelis致力于通過對(dui)系統(tong)的(de)設計(ji)、制(zhi)造(zao)和(he)來(lai)開發工藝應用支(zhi)持功能，這是IC制(zhi)造(zao)工藝中(zhong)最關(guan)鍵和(he)最具價值的(de)階段之(zhi)一。如需了解(jie)更多關(guan)于Axcelis的(de)信息，請訪問。

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