上海2016年3月15日電 /美通社/ -- 隨著半導體工藝的不斷深入，硅片清洗的重要程度日益凸顯。近年來，這個領域不僅開始有了一些嶄露頭角的中國本土企業身影，甚至還殺出了一些“黑馬”。近日，盛美半導體設備（上海）有限公司潛(qian)心(xin)(xin)研究八余載，終于(yu)在(zai)半導(dao)(dao)體清洗(xi)(xi)領域獲得(de)了一(yi)項重(zhong)點技術突破(po) -- 解決(jue)了圖形結構晶圓(yuan)無損傷清洗(xi)(xi)的(de)難題。盛(sheng)美半導(dao)(dao)體董事(shi)長、首(shou)席執(zhi)行(xing)官王暉對自主研發的(de)革命性新技術充滿信心(xin)(xin)。
事實上，從70納米(mi)(mi)以(yi)下起，芯片制造的良率就(jiu)開(kai)始有所下降，主要原(yuan)因之一(yi)就(jiu)在于(yu)硅片上的顆粒物、污染難以(yi)清(qing)洗。隨著線越(yue)做越(yue)細，到(dao)了20納米(mi)(mi)以(yi)下，基(ji)本上整個(ge)工藝中，每(mei)兩步就(jiu)要做一(yi)次清(qing)洗，而到(dao)1X納米(mi)(mi)后(hou)，如果想(xiang)得到(dao)較高良率幾乎每(mei)步工序(xu)都離不開(kai)清(qing)洗。
作為集成電路產業鏈中最關鍵的一個環節，先進半導體設備長期以來被美國、日本和歐洲的幾個工業強國所主導，在中國可以說是一個從零開始的產業。“以前中國12寸晶圓廠里的設備沒有一臺是中國制造的，直到近幾年這種狀況才有所改變。” 王暉表示，“芯片廠商和半導體設備商是相輔相成的關系，如果一個國家沒有半導體設備設計、制造能力，它在高科技領域始終要受制于人。”現在，盛美半導體以提升良率為突破口，加上可靠的設備運行數據爭取到海力士、中芯國際、華力微電子、長電先進、華進半導體、晶盟等客戶(hu)的(de)重復訂單，并通過(guo)盛美(mei)美(mei)國與(yu)Sematech建立了(le)長期的(de)合作關系。
隨著半導體工藝由2D走向3D，FinFET對硅片清洗提出了新挑戰，圖形結構晶圓清洗相較于平坦表面的清洗，技術和要求都要復雜得多。“這可以說是半導體清洗技術難以逾越的一個技術門檻，現在到了必須要面對的時候了。”王暉介紹，隨著線寬減小，深寬比的增加，清洗工藝難度也迅速增大。其實，過去十年來，很多大公司也都曾在這個問題上做過嘗試，但多數都半途而廢。盛美則憑借著一股追求技術極致的執著激情，經過多年的不懈努力，最終找到了解決方案。目前盛美最新(xin)的(de)無損(sun)傷物理清(qing)洗(xi)技術(shu)已經在客戶1X納(na)米的(de)圖形(xing)芯片上(shang)得到了初步驗證。王暉介紹(shao)，盛美半導體下一代(dai)清(qing)洗(xi)技術(shu)不僅(jin)可(ke)以(yi)用于FinFET圖形(xing)硅片的(de)清(qing)洗(xi)，也(ye)可(ke)以(yi)用于DRAM以(yi)及Flash等（高深寬比15:1甚至(zhi)30:1）關鍵工(gong)藝(yi)的(de)清(qing)洗(xi)。
半導體發展對技術的要求不斷更新，所以新問題、新技術的應變能力，對于半導體設備企業提出了很高的要求。而對技術的極致追求，就是盛美取得成功的較大秘訣。王暉表(biao)示(shi)，盛美做半導體設備，主要就是抓住三大要素(su)：技術差異化、進入市場(chang)的時間節點及全球專(zhuan)利保護(hu)。
“面對同一個應用，同一個技術挑戰，你要比大公司做得好，就要尋求差異化的解決方法，否則就很難超過大公司。”在王暉看來，從技術創新的角度，小公司未必會輸給大公司，反而因為其靈活性及高效率，而更容易做出突破性的技術。面對當今所遭遇的圖形結構晶圓清洗技術瓶頸，在其他公司一時無法找到解決方案的時候，盛美厚積薄發終于幸運地拿到了這把金(jin)鑰匙(chi)，這個(ge)時間節(jie)點至關(guan)重要。另外，盛美半導(dao)體(ti)如今已擁(yong)(yong)有(you)(you)完善的自主產權和相關(guan)專利，目前申(shen)請超過(guo)419項國際(ji)及國內專利，并有(you)(you)超過(guo)116項已獲得授權，這也是(shi)盛美半導(dao)體(ti)發展自己的技(ji)術路(lu)線圖并擁(yong)(yong)有(you)(you)持續競爭力的保證。
從全球半導體產業的發展趨勢來看，中國市場的地位正在崛起，未來一半以上集成電路市場在中國。而國家近年來對于半導體產業的大力推動，也讓本土半導體企業看到了機會所在。“我認為中國設備公司走上世界舞臺才剛剛開始，盛美有幸成為其中一員，以后一定還將有更多中國設備公司開發出差異化的，屬于自己核心技術的產品。”這是個技術大變革的時代，也是中國本土半導體設備企業爭得發展空間的的歷史機遇，王暉對此充滿信心，“我們相信盛美在不久的將來，百尺竿頭，更進一步，吹響中國研發、制造半導體設備沖出亞洲，進軍世界的號角。”
文章來源：《半導體制造》雜志
