上(shang)海2022年10月25日 /美通社/ -- 10月25日，中(zhong)(zhong)微(wei)(wei)半導體設備(bei)（上海）股份有限公司（以下簡稱"中(zhong)(zhong)微(wei)(wei)公司"，上交所股票(piao)代碼：688012）宣布其MOCVD設備(bei)系列喜迎又一(yi)里程(cheng)碑：全球第500臺MOCVD設備(bei)順利(li)付運國內一(yi)家專業(ye)從事LED外(wai)延片(pian)和芯片(pian)的研發(fa)生產(chan)制造(zao)商。這一(yi)里程(cheng)碑既是中(zhong)(zhong)微(wei)(wei)公司MOCVD產(chan)品的卓越性能與服(fu)務的專業(ye)優(you)勢的充分證明，也是對公司持續(xu)創(chuang)新的技術(shu)能力與穩(wen)步發(fa)展的綜合實(shi)力的認可與肯定。

本批次運付的(de)第(di)500臺MOCVD設備為(wei)中(zhong)微公司(si)2021年(nian)6月推出的(de)Prismo UniMax®，主要用于(yu)(yu)氮(dan)化鎵基Mini LED外(wai)延(yan)片量產(chan)。隨著近些(xie)年(nian)來光(guang)電產(chan)業的(de)飛速發展，Mini LED已廣(guang)泛應用于(yu)(yu)電視、筆記本電腦(nao)、平板電腦(nao)、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外(wai)顯示屏等終(zhong)端(duan)產(chan)品(pin)。

自面世(shi)以來， Prismo UniMax® MOCVD設(she)備(bei)憑借優異(yi)的(de)波(bo)長(chang)均(jun)勻性(xing)、高(gao)能(neng)效和(he)高(gao)產能(neng)等優勢迅(xun)速獲得了(le)市場(chang)認可(ke)，團隊專業(ye)及時的(de)現場(chang)支持和(he)細(xi)致(zhi)規范的(de)技術服務也備(bei)受客(ke)戶青睞(lai)。作為專為高(gao)性(xing)能(neng)Mini LED量產而(er)設(she)計的(de)MOCVD設(she)備(bei)，Prismo UniMax®具備(bei)高(gao)產能(neng)和(he)高(gao)靈活(huo)性(xing)的(de)特點，在(zai)同(tong)一系統(tong)中可(ke)配(pei)備(bei)多(duo)達4個(ge)(ge)反(fan)應腔，每個(ge)(ge)反(fan)應腔均(jun)可(ke)實現獨立(li)控制。Prismo UniMax®配(pei)置(zhi)了(le)785mm大直徑(jing)石(shi)墨托(tuo)盤(pan)，通過石(shi)墨托(tuo)盤(pan)的(de)不(bu)同(tong)設(she)計配(pei)置(zhi)，最多(duo)可(ke)實現同(tong)時加(jia)(jia)工(gong)164片4英寸或72片6英寸外延晶(jing)片，有效提高(gao)產能(neng)并降低(di)生(sheng)產成本。此外，Prismo UniMax®創新的(de)多(duo)區(qu)輔(fu)助加(jia)(jia)熱調節系統(tong)，能(neng)精確(que)控制托(tuo)盤(pan)局部區(qu)域溫(wen)度(du)，有助于(yu)更大程度(du)提升LED波(bo)長(chang)均(jun)勻性(xing)。

目前，中微公(gong)司開發(fa)的(de)一(yi)系列(lie)MOCVD設備在行(xing)業內主要的(de)LED生(sheng)產(chan)(chan)線上已全面投(tou)入量產(chan)(chan)。Prismo UniMax®是MOCVD設備系列(lie)新一(yi)代產(chan)(chan)品(pin)，該產(chan)(chan)品(pin)系列(lie)還(huan)包括(kuo)Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。2013年，中微公(gong)司率先發(fa)布國內自(zi)主研(yan)發(fa)制造的(de)量產(chan)(chan)型(xing)MOCVD設備Prismo D-BLUE®。此后，中微公(gong)司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7®、Prismo HiT3®、Prismo UniMax®和Prismo PD5®產(chan)(chan)品(pin)。

"此次里程碑是中(zhong)微(wei)公司取得的(de)又一(yi)次重要突(tu)破，為今后(hou)MOCVD產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)市場進(jin)一(yi)步開(kai)拓奠定了堅實(shi)的(de)基(ji)礎。"中(zhong)微(wei)公司副(fu)總裁兼MOCVD產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)事業部總經理郭世(shi)平表示："我們(men)感到(dao)十(shi)分自豪，中(zhong)微(wei)公司開(kai)發(fa)的(de)一(yi)系列MOCVD設備，獲(huo)得了客(ke)戶(hu)與(yu)市場的(de)廣泛認可，部分產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)在細分領域(yu)市占率達到(dao)全(quan)球排名第一(yi)。未(wei)來，隨(sui)著新應用的(de)進(jin)一(yi)步拓展，我們(men)將繼(ji)續推進(jin)與(yu)客(ke)戶(hu)的(de)密切合作(zuo)交流，通(tong)過技術領域(yu)的(de)持續創新，不(bu)斷為客(ke)戶(hu)提(ti)供極具(ju)競爭力的(de)產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)和解決方案，實(shi)現(xian)穩步發(fa)展與(yu)深度(du)共(gong)贏，共(gong)同譜寫(xie)產(chan)(chan)(chan)(chan)業更加美好的(de)明天。"

Prismo D-BLUE®, Primo A7®, Prismo HiT3®，Prismo PD5® 和 Prismo UniMax® 是(shi)中(zhong)微公司的注冊商標。

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中(zhong)微(wei)(wei)(wei)半導體設備(bei)（上海）股份有限公(gong)司（證(zheng)券簡稱：中(zhong)微(wei)(wei)(wei)公(gong)司，證(zheng)券代碼：688012）致力于為全球集(ji)成電(dian)路和(he)LED芯片制(zhi)造(zao)商提(ti)供(gong)領(ling)先的(de)(de)加工(gong)設備(bei)和(he)工(gong)藝技術解決方(fang)案。中(zhong)微(wei)(wei)(wei)公(gong)司開發(fa)的(de)(de)等離(li)子體刻(ke)(ke)蝕設備(bei)和(he)化學薄(bo)膜設備(bei)是制(zhi)造(zao)各種微(wei)(wei)(wei)觀(guan)器(qi)件(jian)的(de)(de)關鍵(jian)設備(bei)，可(ke)加工(gong)微(wei)(wei)(wei)米級和(he)納米級的(de)(de)各種器(qi)件(jian)。這(zhe)些微(wei)(wei)(wei)觀(guan)器(qi)件(jian)是現代數碼產(chan)業(ye)的(de)(de)基礎，它們正(zheng)在(zai)(zai)改變人(ren)類的(de)(de)生(sheng)(sheng)產(chan)方(fang)式和(he)生(sheng)(sheng)活(huo)方(fang)式。中(zhong)微(wei)(wei)(wei)公(gong)司的(de)(de)等離(li)子體刻(ke)(ke)蝕設備(bei)已(yi)被(bei)廣泛應(ying)用于國際一(yi)線客戶先進工(gong)藝的(de)(de)眾多(duo)刻(ke)(ke)蝕應(ying)用，中(zhong)微(wei)(wei)(wei)公(gong)司開發(fa)的(de)(de)用于LED和(he)功率器(qi)件(jian)外延片生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)MOCVD設備(bei)已(yi)在(zai)(zai)客戶生(sheng)(sheng)產(chan)線上投入量產(chan)，目前已(yi)在(zai)(zai)全球氮化鎵基LED MOCVD設備(bei)市場占據領(ling)先地位(wei)。