上海2013年12月(yue)(yue)17日電 /美通社/ -- 2013年12月(yue)(yue)17日，盛美半導體設備(bei)（上海）有(you)限公司的核心(xin)清洗專(zhuan)利(li)(li)之一獲(huo)得了包括美國(guo)、日本、新加坡和中(zhong)國(guo)的授權，其他核心(xin)清洗專(zhuan)利(li)(li)也在審批中(zhong)。盛美擁有(you)完整的自(zi)主知識(shi)產(chan)權，已(yi)經獲(huo)得60多(duo)(duo)個國(guo)際專(zhuan)利(li)(li)，還有(you)100多(duo)(duo)個專(zhuan)利(li)(li)正(zheng)在申請中(zhong)。
此次獲(huo)得授權的(de)(de)(de)(de)(de)(de)專利是一種用(yong)于清(qing)洗并(bing)調(diao)整(zheng)半導體基材，諸(zhu)如晶片的(de)(de)(de)(de)(de)(de)表面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)裝置，包(bao)括可(ke)旋(xuan)轉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)夾盤(pan)(pan)、腔體、用(yong)于收(shou)(shou)集清(qing)洗溶(rong)液并(bing)具有(you)一或多(duo)個排(pai)水(shui)出口的(de)(de)(de)(de)(de)(de)可(ke)旋(xuan)轉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)轉盤(pan)(pan)、用(yong)于收(shou)(shou)集多(duo)種清(qing)洗溶(rong)液的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)個接(jie)收(shou)(shou)器(qi)、用(yong)于驅(qu)動夾盤(pan)(pan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第一電機、用(yong)于驅(qu)動轉盤(pan)(pan)第二電機。轉盤(pan)(pan)內(nei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)排(pai)水(shui)出口可(ke)置于指(zhi)定接(jie)收(shou)(shou)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正上方(fang)。由轉盤(pan)(pan)所收(shou)(shou)集的(de)(de)(de)(de)(de)(de)清(qing)洗溶(rong)液可(ke)導入指(zhi)定的(de)(de)(de)(de)(de)(de)接(jie)收(shou)(shou)器(qi)中。
“本(ben)裝置的(de)(de)一大特色就是其(qi)具有有效并可精確控(kong)制(zhi)的(de)(de)清洗(xi)溶(rong)液(ye)循(xun)環，將交叉(cha)污染控(kong)制(zhi)到最(zui)小(xiao)。”盛美半導體設備(bei)公司的(de)(de)創始人、首席執(zhi)行官王暉博(bo)士說，“通過遮(zhe)擋(dang)板位置的(de)(de)上升和下降來控(kong)制(zhi)藥(yao)液(ye)的(de)(de)回收(shou)，也可以通過藥(yao)液(ye)回收(shou)碟的(de)(de)旋(xuan)轉使排放(fang)口(kou)對準不同的(de)(de)藥(yao)液(ye)接(jie)受口(kou)，實現多種(zhong)藥(yao)液(ye)的(de)(de)回收(shou)分離。本(ben)系統(tong)最(zui)多可以完成(cheng)五種(zhong)化學藥(yao)液(ye)的(de)(de)回收(shou)與排放(fang)，充(chong)分滿足客戶復雜工藝對多種(zhong)清洗(xi)藥(yao)液(ye)需求的(de)(de)要求。”
